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CVD104X95C

CVD系列氣相沉積爐

本系列設備主要用于C/C復合材料制備或石墨、陶瓷等材料工件的表面沉積
相關機型推薦
  • CVD104X95C
  • CVD104X95D
  • CVD104X95B
主要技術參數

序號

技 術 項 目

主  要  技  術  參  數

1

規 格 型 號

□□CVD-□□□>連接產品規格型號編制說明

2

結構與安裝形式

圓形(方形)立式(臥式)

3

有效裝料空間

10-8000L(或根據客戶要求定制)

4

極限使用溫度

1150℃-1600℃

5

常用工作溫度

950℃-1500℃

6

最小使用壽命

3000次循環

7

溫度均勻性能

±5~15℃

8

發熱體材料

石墨/碳碳復合材料

9

適應氣氛

苯烯、天然氣等碳氫氣體/氮氣等惰性?;て?真空

10

可控爐壓

20Pa(真空)-- 0.02MPa(微正壓)

11

供 電 電 源

三相AC380V/50Hz

12

泵  噪  音

≤85dB(A)

>連接產品規格型號編制說明

工作原理與系統控制

 臥式結構爐型:采用水平移動方式開關爐門(本公司專利:ZL2010 2 0139780.5),由液壓缸驅動,料臺(物料裝在料臺上)與爐門鉸接,隨爐門水平移動進出爐膛(爐子加熱區);小型爐子的爐門采用手動倒扣人工鎖緊,大型爐子采用液壓倒扣(本公司專利:ZL2014 2 2253066.2)自動鎖緊。


 立式結構爐型:采用垂直升降方式開關爐門(本公司專利:ZL2008 2 159541.9),由液壓缸驅動、鏈條帶動或電動減速機驅動、絲桿傳動(兩種方式可?。?,料臺與鏈條或絲桿連接,垂直升降進出爐膛;小型爐子的爐門采用手動倒扣人工鎖緊,大型爐子采用液壓旋扣自動鎖緊。為操作方便與安全,當料臺降到地面時,本公司設計有料臺從爐底移出機構供客戶選擇。

 

供排氣方式:大面積多點均勻進氣、大面積多管均勻抽排氣、中段多點補氣,爐內氣體近乎直線型流動。由氣體質量流量計和浮子流量計組合控制各點進氣量,耐腐蝕抗粉塵真空泵抽排氣。(本公司專利:ZL2011 2 0401891.3)

 

尾氣處理:采用先膠油過濾后粉塵過濾組合處理。

      爐壓控制系統、加熱與溫度控制系統、電氣控制與系統?;ぃ合曇?/span>《電氣控制系統》描述。

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